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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,尤其是實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備,?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀采用旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。
詳情介紹:

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀本設(shè)備為實(shí)驗(yàn)室真空PVD鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS

樣品臺

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

500

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

配兩支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ210mm X260mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復(fù)合真空計(jì),量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數(shù)量

直流電源兩套

輸出功率

500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

4kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X900mm




豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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