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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1"射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng),設(shè)計(jì)用于非金屬薄膜涂層,主要用于多層氧化物薄膜。3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機(jī)??筛鶕?jù)金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射,可配置3個(gè)直流、1個(gè)射頻/ 2個(gè)直流和2個(gè)射頻/ 1個(gè)直流濺射頭。
詳情介紹:

3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域:

這款緊湊型3靶磁控濺射鍍膜機(jī)專為在氧化物單晶基板上涂覆氧化物薄膜而設(shè)計(jì),通常不需要高真空設(shè)置。

3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH325-III-DCDCRF-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

4KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ140mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ325mm,高度500mm

腔體材質(zhì)

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

膜厚測(cè)量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W*2,射頻電源500W

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

設(shè)備尺寸

600mm × 650mm × 1280mm

設(shè)備重量

350kg


























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